LTGem Seriesでは、製品用デモ版を用意しています。デモ版では、３０日間の使用期間制限があります。
LTGem Series [半導体製造装置向けパッケージソフト]
SECS/GEM（HSMS/SECS-I）に対応したサーバ、シミュレータ、メッセージログビュアー、メッセージ定義ツール、シナリオデバッガで構成されています。
| 名 称 | 言 語 | Version | 容 量 | ファイル |
| LTGem Seriesパンフレット | 日本語 | 1.2.0 | 2.95MB |
|
| LTGem Seriesパンフレット | 英語 | 1.2.0 | 3.42MB |
|
| LTGem Seriesパンフレット | 中国語 | 1.2.0 | 0.59MB |
|
| LTGem Seriesパンフレット | 韓国語 | 1.2.0 | 0.58MB |
|
| PDF形式の文書をご覧になるには、Adobe® Acrobat® Readerが必要です。 アイコンをクリックしてダウンロードしてください (無償)。 |
 |
制限事項
LTGem GEMサーバ
- HSMSではGSモード及び交換接続モードはサポートしません。
LTGemSim GEM/SECSシミュレータ
- HSMSではGSモード及び交換接続モードはサポートしません。
| モード | サブモード | サポート | 備考 |
| シナリオ | オート | ○ | 会話スクリプト有効 |
| メッセージ | オート | ○ | ２次メッセージを自動で送信 |
| セミオート | ○ | ２次メッセージを選択して手動で送信 | |
| マニュアル | ○ | メッセージを選択して送信 | |
| プロトコル (SECS-I) |
シングルブロック | ○ | プロトコルレベルの接続確認 |
| マルチブロック | ○ | 〃 |
|
| プロトコル (HSMS) |
- | ○ | 〃 |
LTGemViewer メッセージログビュアー
LTGemGen メッセージ定義ツール
LTGemDeb シナリオデバッガ
- 制限なし
LTTransferSim(基板搬送シミュレータ)
LTTransferSim 基板搬送シミュレータ
- 制限なし
LTEqMonitor 装置モニタ
- 制限なし
動作環境| 対応OS（動作確認済み） | Windows7 (LTGem Series Ver1.7 以降） |
| Windows Vista (LTGem Series Ver1.7 以降） | |
| WindowsXP Professional SP2 以降 (LTGem Series Ver1.7以降は .net FrameWork3.5以降必要） | |
| Windows2000 Professional (LTGem Series Ver1.6 まで Ver1.7以降は未サポート) | |
| ネットワーク | イーサーネットポートを有すること(HSMSプロトコル使用時) |
| インターフェイス | RS-232Cシリアルポートを有すること(SECSプロトコル使用時) ※ |
リリース履歴| 更新日 | 内容 |
| 07.03.01 | LTGem Series製品版ver1.0.0 リリース |
| 07.07.02 | LTGem Series評価版ver1.1.0 RC1 リリース |
| 07.12.01 | LTGem Series正式版ver1.2.0 リリース |
| 08.01.11 | LTGem Series正式版ver1.2.0.1 リリース |
| 08.09.13 | LTGem Series正式版ver1.2.0.2 リリース |
| 09.01.20 | LTGem Series正式版ver1.2.1 リリース |
| LTTransferSim ver1.0.0 リリース | |
| LTEqMonitor ver1.0.0 リリース | |
| 09.02.06 | LTGem Series -LTGemGen- 正式版ver1.2.1.1 リリース |
| 09.07.20 | LTGem Series -LTGem- 正式版ver1.2.1.1 リリース |
| LTGem Series -LTGemSim- 正式版ver1.2.1.1 リリース | |
| LTGem Series -LTGemGen- 正式版ver1.2.1.2 リリース | |
| LTGem Series -LTGemViewer- 正式版ver1.2.1.1 リリース | |
| 10.02.25 | LTGem Series正式版ver1.5.0 リリース |
| 10.07.06 | LTGem Series正式版ver1.7.0 リリース |
バージョン履歴こちらの バージョン履歴 ページへ