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LTGem Series

商品概要

LTGem Series
LTGem Seriesとは、半導体製造装置用Semiconductor Equipment Communications Standard(SECS)通信用機能を組み込む為のパッケージソフトウェアです。
既に定義されているスクリプトを使用することによりGeneric Equipment Model(GEM)規格に準拠した半導体製造装置を実現します。 製造装置アプリケーションソフトウェアとGEMサーバのインターフェイスはActiveX コンポーネントで行います。
LTGem Seriesには、 があります。
LTGemSeries概念図