


LTGem Seriesでは、製品用デモ版を用意しています。デモ版では、30日間の使用期間制限があります。
LTGem Series [半導体製造装置向けパッケージソフト]
SECS/GEM(HSMS/SECS-I)に対応したサーバ、シミュレータ、メッセージログビュアー、メッセージ定義ツール、シナリオデバッガで構成されています。
名 称 | 言 語 | Version | 容 量 | ファイル |
LTGem Seriesパンフレット | 日本語 | 1.2.0 | 2.95MB |
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LTGem Seriesパンフレット | 英語 | 1.2.0 | 3.42MB |
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LTGem Seriesパンフレット | 中国語 | 1.2.0 | 0.59MB |
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LTGem Seriesパンフレット | 韓国語 | 1.2.0 | 0.58MB |
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LTGem GEMサーバ
- HSMSではGSモード及び交換接続モードはサポートしません。
LTGemSim GEM/SECSシミュレータ
- HSMSではGSモード及び交換接続モードはサポートしません。
モード | サブモード | サポート | 備考 |
シナリオ | オート | ○ | 会話スクリプト有効 |
メッセージ | オート | ○ | 2次メッセージを自動で送信 |
セミオート | ○ | 2次メッセージを選択して手動で送信 | |
マニュアル | ○ | メッセージを選択して送信 | |
プロトコル (SECS-I) |
シングルブロック | ○ | プロトコルレベルの接続確認 |
マルチブロック | ○ | 〃 |
|
プロトコル (HSMS) |
- | ○ | 〃 |
LTGemViewer メッセージログビュアー
LTGemGen メッセージ定義ツール
LTGemDeb シナリオデバッガ
- 制限なし
LTTransferSim(基板搬送シミュレータ)
LTTransferSim 基板搬送シミュレータ
- 制限なし
LTEqMonitor 装置モニタ
- 制限なし


対応OS(動作確認済み) | Windows7 (LTGem Series Ver1.7 以降) |
Windows Vista (LTGem Series Ver1.7 以降) | |
WindowsXP Professional SP2 以降 (LTGem Series Ver1.7以降は .net FrameWork3.5以降必要) | |
Windows2000 Professional (LTGem Series Ver1.6 まで Ver1.7以降は未サポート) | |
ネットワーク | イーサーネットポートを有すること(HSMSプロトコル使用時) |
インターフェイス | RS-232Cシリアルポートを有すること(SECSプロトコル使用時) ※ |


更新日 | 内容 |
07.03.01 | LTGem Series製品版ver1.0.0 リリース |
07.07.02 | LTGem Series評価版ver1.1.0 RC1 リリース |
07.12.01 | LTGem Series正式版ver1.2.0 リリース |
08.01.11 | LTGem Series正式版ver1.2.0.1 リリース |
08.09.13 | LTGem Series正式版ver1.2.0.2 リリース |
09.01.20 | LTGem Series正式版ver1.2.1 リリース |
LTTransferSim ver1.0.0 リリース | |
LTEqMonitor ver1.0.0 リリース | |
09.02.06 | LTGem Series -LTGemGen- 正式版ver1.2.1.1 リリース |
09.07.20 | LTGem Series -LTGem- 正式版ver1.2.1.1 リリース |
LTGem Series -LTGemSim- 正式版ver1.2.1.1 リリース | |
LTGem Series -LTGemGen- 正式版ver1.2.1.2 リリース | |
LTGem Series -LTGemViewer- 正式版ver1.2.1.1 リリース | |
10.02.25 | LTGem Series正式版ver1.5.0 リリース |
10.07.06 | LTGem Series正式版ver1.7.0 リリース |


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