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LTGem Series
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LTGem Seriesでは、製品用デモ版を用意しています。デモ版では、30日間の使用期間制限があります。

LTGem Series [半導体製造装置向けパッケージソフト]

SECS/GEM(HSMS/SECS-I)に対応したサーバ、シミュレータ、メッセージログビュアー、
メッセージ定義ツール、シナリオデバッガ
で構成されています。
名 称 言 語 Version 容 量 ファイル
LTGem Seriesパンフレット 日本語 1.2.0 2.95MB 日本語(LTGem Seriesパンフレット)
LTGem Seriesパンフレット 英語 1.2.0 3.42MB 英語(LTGem Seriesパンフレット)
LTGem Seriesパンフレット 中国語 1.2.0 0.59MB 中国語(LTGem Seriesパンフレット)
LTGem Seriesパンフレット 韓国語 1.2.0 0.58MB 韓国語(LTGem Seriesパンフレット)
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制限事項
LTGem Series

LTGem GEMサーバ

  • HSMSではGSモード及び交換接続モードはサポートしません。

LTGemSim GEM/SECSシミュレータ

  • HSMSではGSモード及び交換接続モードはサポートしません。
モード サブモード サポート 備考
シナリオ オート 会話スクリプト有効
メッセージ オート 2次メッセージを自動で送信
セミオート 2次メッセージを選択して手動で送信
マニュアル メッセージを選択して送信
プロトコル
(SECS-I)
シングルブロック プロトコルレベルの接続確認
マルチブロック
プロトコル
(HSMS)
-

LTGemViewer メッセージログビュアー

LTGemGen メッセージ定義ツール

LTGemDeb シナリオデバッガ

  • 制限なし


LTTransferSim(基板搬送シミュレータ)

LTTransferSim 基板搬送シミュレータ

  • 制限なし

LTEqMonitor(装置モニタ)

LTEqMonitor 装置モニタ

  • 制限なし

動作環境
対応OS(動作確認済み) Windows7 (LTGem Series Ver1.7 以降)
Windows Vista (LTGem Series Ver1.7 以降)
WindowsXP Professional SP2 以降 (LTGem Series Ver1.7以降は .net FrameWork3.5以降必要)
Windows2000 Professional (LTGem Series Ver1.6 まで Ver1.7以降は未サポート)
ネットワーク イーサーネットポートを有すること(HSMSプロトコル使用時)
インターフェイス RS-232Cシリアルポートを有すること(SECSプロトコル使用時) 
※USB-RS232C変換等により標準シリアルポートとして認識できれば可能
リリース履歴
更新日 内容
07.03.01 LTGem Series製品版ver1.0.0 リリース
07.07.02 LTGem Series評価版ver1.1.0 RC1 リリース
07.12.01 LTGem Series正式版ver1.2.0 リリース
08.01.11 LTGem Series正式版ver1.2.0.1 リリース
08.09.13 LTGem Series正式版ver1.2.0.2 リリース
09.01.20 LTGem Series正式版ver1.2.1 リリース
LTTransferSim ver1.0.0 リリース
LTEqMonitor ver1.0.0 リリース
09.02.06 LTGem Series -LTGemGen- 正式版ver1.2.1.1 リリース
09.07.20 LTGem Series -LTGem- 正式版ver1.2.1.1 リリース
LTGem Series -LTGemSim- 正式版ver1.2.1.1 リリース
LTGem Series -LTGemGen- 正式版ver1.2.1.2 リリース
LTGem Series -LTGemViewer- 正式版ver1.2.1.1 リリース
10.02.25 LTGem Series正式版ver1.5.0 リリース
10.07.06 LTGem Series正式版ver1.7.0 リリース
バージョン履歴
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